Halfgeleider en instrumentatie

Thuis / Toepassing / Halfgeleider en instrumentatie
Halfgeleider en instrumentatie

Halfgeleider en instrumentatie

Binnen de sectoren geleidende materialen en instrumentatie dienen flenzen als cruciale componenten die tegelijkertijd functies vervullen op het gebied van verbinding, afdichting, plaatsing van de installatie, thermisch beheer en weerstand tegen verontreiniging. In hoog-/ultrahoogvacuümsystemen voor halfgeleiderprocessen zoals lithografie, etsen en depositie maken flenzen van het type KF, CF en ISO gestandaardiseerde interfaces en lekvrije afdichting tussen kamers, pompsamenstellen en kleppen mogelijk. Hierdoor wordt verontreiniging door onzuiverheden geëlimineerd, waardoor de opbrengst van het waferproces wordt gewaarborgd.